XYZTEC – Condor sigma w12
En simple équipement avec support de wafer adapté ou intégré dans une solution complète avec chargeur de wafer le modèle Condor Sigma W12 offre une solution pour le test des wafers (jusqu’à 300mm).
Spécifications :
Capteurs de Force :
- Tête 6 positions “Revolving” ou Tête mono capteur (Pull ou Shear)
- Gamme : 10 gf, 100 gf, 1 kgf, 10 kgf
- Force maximale en cisaillement : 10 kgf
- Force maximale en traction et poussée : 10 kgf
- Précision : ±0.075%
- Résolution : 24 bit
- Force mini de détection de surface : 2,5g
- Calibration poids OIMI classe M1 ou NIST classe 1
Déplacements :
- Résolution des encodeurs optiques : 30 nm
- Déplacement en X : 500 mm
- Déplacement en Y : 370 mm
- Déplacement en Z : 90 mm
- Vitesse de déplacement (X,Y & Z) : 50 mm/s
- Concentricité du crochet : ±10μm
- Précision rotation Tool rotation : ±1 °
Caractéristiques :
- Dimension X : 1300 mm
- Dimension Y : 935 mm
- Hauteur : 608 mm
- Poids :95 kg
- Description
Description
En simple équipement avec support de wafer adapté ou intégré dans une solution complète avec chargeur de wafer le modèle Condor Sigma W12 offre une solution pour le test des wafers (jusqu’à 300mm).
